PFCT模具

      PFCT微流控芯片模具是一种用于PDMS芯片浇筑的模具,具有寿命长,结构精度高,浇筑成型便捷等优点。PFCT模具结合了PMMA和SU8硅片模具的优点,既有PMMA模具的寿命,又有SU8模具的精度。在批量浇筑成型芯片中不可替代。

模具制作流程:

1、光刻加工:按照光刻工艺流程加工出来高精度模具,这里同样需要掩膜,光刻胶,显影液等完成初步模具的加工。

2、翻模:用上述加工的模具结构翻模出来PDMS过渡层;

3、PFCT采用一定比例调制而成,用PDMS过渡层再次翻模PFCT,可以得到精度好、更耐用PDMS微流控芯片模具。

外观结构描述:

1、模具稍有透明度,可透光检查模具效果及内部结构;

2、模具厚度可以根据工艺调整,一般建议厚度1-2mm即可;

3、加工成型的外形和硅片类似,成圆形也有切边,上下平整。

功能优点:

经过测试PFCT模具浇筑PDMS脱模简单,PDMS结构和SU8模具翻模的效果一致,使用过程中模具不会碎裂,无图案破损等异常,基本是无限次翻模。且表面清洁便捷,重复可靠使用。PFCT是批量生产的福音,值得拥有。

常见浇筑PDMS的成型的模具

PDMS浇筑成型的关键是模具,目前主流的模具有:SU8光刻胶模具,PMMA模具,金属模具等。

SU8模具主要通过微纳光刻技术在硅片上做出光刻胶凸起图案,特点是可以做出比较精密的微小流道,且侧壁光滑,浇筑PDMS透光度好,目前比较主流的微流控模具就是SU8模具。缺点就是模具在硅片基底上加工,易碎,寿命比较有限。

PMMA模具和金属模具对于结构尺寸稍大的流道是加工的首选,成本比较低,但是对于100um以下的结构很难做出来精密的结构。


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